シリコンウエハ上への無電解ニッケルメッキについて

シリコンウェハー上に無電解ニッケルメッキを10μm密着させることは可能か。ただし、シリコンウェハー上には、チタンと銅がスパッタ膜が形成されている。

【弊社回答】

シリコンウェハーはそれ自体に導電性がない為、表面をエッチングし、メッキ触媒となるパラジウムを付着させた後であれば無電解ニッケルメッキを密着させることは可能です。一方で、そのエッチングに使用する薬品が銅を溶解してしまうためスパッタ膜を保持したままの処理は不可能です。